摘要

干冰清洗机提供干燥和无水清洁选项，可去除碳氢化合物和颗粒，无残留物。 可以有效地清洁水平安装位置的Cu RF枪腔和Nb多腔腔等复杂挖掘。 在最近的过去，RF枪阴极和阴极传输盒可以令人满意地清洁。 将提供状态报告。

介绍

由于最近的单细胞腔射频测试显示出可接受的行为，例如Eacc> 35 MV / m，并且在射频调节后有希望的结果，可以在PITZ（光注射器测试设施Zeuthen）上为照片注射器提供二氧化碳清洁的射频枪腔， 我们的想法是将这种清洁方法应用于其他射频元件和多节腔。

在[1,2,3]中给出了清洁过程和清洁1细胞铌腔的实验装置的描述。

清洁效果的基本机械和化学要点是：x由于震动冻结，污染物变脆。 x高压和高强度的雪晶可消除污染。 可以去除低至100nm的粒子。 x击中表面积雪颗粒在撞击点处部分熔化。 液态CO2是碳氢化合物和有机硅的良好溶剂。

这种清洁方法的主要优点是不存在水或其他液体，这些液体在短时间内不会蒸发。

我们可以证明，复杂结构的干冰清洁原则上是可行的。 可移动的气体喷嘴有助于清洁可接近性有限的区域。 在RF枪的清洁过程中，不施加额外的外部加热。 有希望的暗电流测量值表明将来省略了IR加热器。 可以清洁2细胞和3细胞腔。 相邻的RF测试将在不久的将来进行。

致谢

TOOICE科研中心的大力支持。