干冰清洗机的技术原理

当介质撞击表面时，传统的研磨技术（例如砂或金属珠喷砂）基于凿削作用的原理进行操作。 这会损坏基板表面。 二氧化碳撞击表面后变成气体（升华物）。 二氧化碳在两个表面之间产生压缩张力波，打破了污染物的粘附力; 然后它被高速气体和压缩空气带走。 （谢尔曼，97）。 二氧化碳是无毒，无害，不易燃，没有臭氧消耗特性。 二氧化碳直接升华为固相气体的独特物理性质不会导致液体废物流。 唯一需要管理的废物是清洁过程中去除的污染物。 污染物通过喷射清洁收集在清洁手套箱的底部，或者在SCCO2清洁中收集分离室的底部。

执行清洁操作的员工有可能吸入，摄取或吸收清洁溶剂。 接触这些化学物质的影响可能导致呼吸道损伤，癌症，神经系统疾病和器官损害（Queensland Health，99）。 除此之外，还有从清洁部位所需的力和持续时间开始累积创伤障碍的风险（Williams，1995）。

通过利用二氧化碳清洁工艺可以在环境影响方面取得进展。 清洁后的纯去离子水的冲洗步骤导致水消耗和废水的减少（Rubin，Sivils）。 消除溶剂的使用和随后的废物流混合物进行清洁可以减少必须处理的有害废物的数量。 这导致监管报告要求减少。 CO2喷射过程需要使用干净，干燥的压缩空气。 这可能需要设施来升级其当前的压缩空气系统或安装用于爆炸系统的专用系统。 半导体制造商必须清洁的零件作为其制造的一部分。（SEMATECH，97）。 它说明了刨冰和托盘化干冰的进料速率，爆炸压力以及清洁每个部件所需的时间。

摘要

清洁零件的过程是一个影响组织盈利能力的技术过程。 存在员工健康，化学品和废物管理成本，责任风险，生产力影响，水消耗以及零件清洁相关隐藏成本的风险。 与湿手动工艺相比，二氧化碳是一种替代工艺，使公司能够更好地管理这些暴露。

结论

与几家二氧化碳清洁设备制造商进行了非正式访谈。 这些访谈用于获取有关系统配置和系统实施价格的数据。 采访涉及过程工程师以及各组织的销售人员。 进行案例研究分析以获得有关在半导体制造工厂实施替代清洁系统的成本的信息。 案例研究被广泛用于确定清洁的有效性和经济分析。二氧化碳是一种干洗工艺，利用无毒，不易燃的二氧化碳作为清洁介质。 在清洁零件，工具和设备后，二氧化碳升华为气体，消除了危险废物的处理和处置成本，以及消耗超纯水作为冲洗液。通过实施二氧化碳喷射清洁系统，消除或减少了与湿手动清洁过程相关的不利健康影响，废水消耗，危险废物产生和隐藏成本。 与湿法工艺相比，使用CO2的部件清洁时间减少。 二氧化碳喷射清理，可以更快地清洁零件，达到或超过规定的清洁度水平，并且不会产生大量废物流来管理。

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