开发原因： ①环境改善目标通过减少有害药物的使用来确保工人的安全，并通过减少危险废物的产生来改善自然环境②经济目标简化生产过程并最大限度地减少工作场所的工作空间清洁费用部分： 它具有降低所有生产成本和附带成本的效果.③技术目标可以取代现有清洁工艺的环保技术：通过引入化学品，可以减少工人的环境和清洁时间， 致力于技术的发展。
重要性：
随着电子工业的发展，致密化变得越来越重要，并且制造过程中发生的清洁过程变得更加重要。为了通过使用有毒药材和超纯水保持所需的清洁效果和清洁度，必须进一步扩大洗涤过程。药品不仅对人体有害，而且对自然环境也有不良影响。使用干冰进行干洗在成本和效果方面都是优越的。即使在韩国以外，仍然使用干冰。但是，所使用的清洁设备仍处于开发的早期阶段，并且未被激活。发展是一个紧迫的情况。
内容和范围：
通过分析先进设备确保基本技术 - 二氧化碳注入装置 - 工作阶段 - 开发二氧化碳高压2型清洁装置 - 提高二氧化碳纯度 - 开发清洗晶圆喷嘴 - 旋转模块（晶圆）：开发的清洁设备设计驱动 - CO2注入清洁设备模块：晶圆（移动部件） - 晶圆（装载/卸载）系统 - 腔室（杯子）清洁3） 开发用于玻璃的有机清洁设备（LCD，EL，彩色滤光片） - 设计的扫描模块（输送机类型） - 控制部件 - 软件
最终 生活质量的提高，并根据清洁制造，而相应地变被称为无污染的清洁别无选择，而且还加载成长的环境中，在这样的意思实在是太棒了，我们也将有一个新的清洁方法物理清洁。有一个基本的广泛适用于广泛的清洗对象，从而清洁过滤器，并且可以被应用到特定还清洗速度快尿路问题的所有站点。它不使用化学清洁剂，因此具有经济竞争力。问题是如何有效地将流程应用到站点并快速恢复故障。用实际过程替换现有过程是非常危险的。然而，其主要原因是逐步环保清洁。这是不可避免的一个，除了环境的原因，如技术，因此未来在经济方面的挑战明亮确定并非如此普遍实行这种方式。为了应对这一点，我们可以有很大的意义，你不仅要实现未来执行的国家项目称为在实际过程中开发批量生产设备的目标，提出了最初的目标更环保的清洁过程可能我明白了向前这种发展将从干冰被开始应用到精密清洗雪晶片大约的清洗过程或部分所取的日益替代相比于常规的化学清洗液用的通用性，净化设备的定位以下，目标是为各种颗粒清洗领域建立环保的无污染清洗技术。
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